Integreeritud ALD-süsteemi, kindalaeka mooduli ja ellipsomeetri tarnimine, paigaldus, kasutuselevõtt ja valideerimine Tyndalli instituudile

Kokkuvõte

Hange puudutab integreeritud süsteemi tarnimist, paigaldamist, kasutuselevõttu, kalibreerimist ja valideerimist Tyndall National Institute’i jaoks. Süsteem koosneb kahest aatomkihtsadestuse reaktorist, kindalaeka moodulist ja ellipsomeetrist. Pakkuja peab tarnima ja paigaldama kogu lahenduse nii, et see oleks täielikult integreeritud ja tööks sobiv. Masinloetavas teates täpseid kvalifitseerimis-, kõrvaldamis- ega vastavustingimusi ei olnud; need tuleb kontrollida hankedokumentidest.