Servaga käsitsetav pihustuskattega klasterseade

Kokkuvõte

Hange puudutab 200 mm plaatidele mõeldud servaga käsitsetavat pihustuskattega klasterseadet VTT Micronova puhasruumi pooljuhtide tootmise jaoks. Seade peab võimaldama, et plaate puudutatakse transportimisel ja töötlemisel mehaaniliselt ainult servast ning neid saab protsesside vahel vaakumis ümber pöörata. Hankedokumentidest tuleb kontrollida täpsed tehnilised nõuded, kõrvaldamise alused ja kvalifitseerimistingimused.