EUV-sihtmärgid

Kokkuvõte

Hange puudutab EUV-allika ja selle kiirguse iseloomustamiseks vajaliku instrumentatsiooni ostmist. Lahendus peab toetama teaduslikke uuringuid, eelkõige kiirguse sõltuvust sisendatud laservõimsuse parameetritest, ning seda võrreldakse olemasolevate koherentsete EUV-allikatega nende kasutatavuse osas kujutamismeetodites. Pakkuja peab arvestama ka tarne, täieliku paigalduse, kasutuselevõtu, montaaži ja koolitusega.