Optilise kile pinge mõõtmise seade

Kokkuvõte

Hange puudutab 200 mm automaatset õhukese kile pinge ja plaadi kõveruse analüüsi süsteemi VTT Micronova puhasruumi jaoks. Tarnija peab pakkuma ruumitemperatuuril töötavat mõõtesüsteemi, kasseti laadimislüüsi, vahvlite käsitsemise robotit, programmeeritavat automaatset skaneerimissüsteemi ja analüüsi tarkvara. Seade peab sobima puhasruumis kasutamiseks ning vastama kõigile tehnilistele nõuetele, toimivusnäitajatele ja vastuvõtukriteeriumidele, mis on toodud hankedokumentide lisades. Osapakkumusi ei aktsepteerita. Hindamisel kasutatakse majanduslikku soodsust, kus hind moodustab 80% ja kvaliteet 20%.