Hanke detail

200 mm volfram-CVD kambri uuendamine WxZ Sprint konfiguratsiooniks

Kokkuvõte

Hange puudutab olemasoleva 200 mm volfram-CVD-süsteemi uuendamist WxZ Sprint konfiguratsiooniks. Töö hõlmab gaasijaotussüsteemi kohandamist, lisariistvara integreerimist, et saavutada kuni 300 Torr depositsioonirõhk, ning vajalike riist- ja tarkvaramuudatuste planeerimist, tarnimist, integreerimist, kasutuselevõttu ja kvalifitseerimist.

Viitenumber
386607-2026
Hankija
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Riik
Saksamaa (DEU)
Hanke liik
Väljakuulutamisega läbirääkimistega hankemenetlus
CPV
42990000 Mitmesugused eriotstarbelised masinad
Tähtaeg
2026-06-26
Staatus
Avatud
Lepingu ese
Asjad
Eeldatav maksumus
Ei ole avaldatud
Allikas
TED

Rohkem hankeinfot sisselogimisel

Avalik vaade näitab hanke põhiandmeid. Logi sisse, et avada ametlikud lingid, dokumendid ja AI hankeabi.