Hanke detail
200 mm volfram-CVD kambri uuendamine WxZ Sprint konfiguratsiooniks
Kokkuvõte
Hange puudutab olemasoleva 200 mm volfram-CVD-süsteemi uuendamist WxZ Sprint konfiguratsiooniks. Töö hõlmab gaasijaotussüsteemi kohandamist, lisariistvara integreerimist, et saavutada kuni 300 Torr depositsioonirõhk, ning vajalike riist- ja tarkvaramuudatuste planeerimist, tarnimist, integreerimist, kasutuselevõttu ja kvalifitseerimist.
Rohkem hankeinfot sisselogimisel
Avalik vaade näitab hanke põhiandmeid. Logi sisse, et avada ametlikud lingid, dokumendid ja AI hankeabi.