Plasma söövitus- ja sadestusseadmete komplekti tarnimine, paigaldamine ja kasutuselevõtt, 4 osa

Kokkuvõte

Hange puudutab 4 osas plasma söövitus- ja sadestusseadmete komplekti tarnimist, paigaldamist ja kasutuselevõttu University College Corkile. Seadmeid kasutatakse räni- ja dielektriliste materjalide töötlemiseks ning need peavad sobima 100 mm ja 200 mm läbimõõduga plaatidele. Pakkuja peab esitama pakkumuse ühe või mitme osa kohta ning arvestama, et täpsed kvalifitseerimis- ja vastavusnõuded tuleb kontrollida hankedokumentidest.