Plasma-abil töötav aatomkihtsadestusseade

Kokkuvõte

Hange puudutab plasma-abil töötavat aatomkihtsadestusseadet õhukeste kilede sadestamiseks. Seade peab sobima erinevatele aluspindadele alates üksikkiibi formaadist 5 x 5 mm² kuni vähemalt 150 mm vahvlini ning võimaldama korduvaid sadestusprotsesse juhtivate, pooljuhtivate ja dielektriliste kihtide jaoks. Multikihtide töötlemine peab olema võimalik ka ilma vaakumit katkestamata. Kaasa tuleb tarnida juhtarvuti koos monitori, klaviatuuri, hiire, vajalike tarkvaralitsentside ja Windows 11 operatsioonisüsteemiga.