Hanke detail

Servas käsitsetav pihustuskeskkonna seade

Kokkuvõte

Hange puudutab servas käsitsetava pihustuskeskkonna seadme tarnet VTT Micronova puhasruumi pooljuhtide esiossa. Tegemist on 200 mm vahvlitele mõeldud pihustuskeskkonna seadmega, millel on vahvli serva käsitsemise võimekus; seadmel peab olema ka sadestuskamber nelja magnetronpihustusallikaga. Täpsed tehnilised nõuded on kirjas hankedokumentides.

Viitenumber
548119-2026
Hankija
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Riik
Soome (FIN)
Hanke liik
Avatud menetlus
CPV
38000000 Laboriseadmed, optika- ja täppisinstrumendid (v.a klaasid)
Tähtaeg
2026-08-13
Staatus
Avatud
Lepingu ese
Asjad
Eeldatav maksumus
Ei ole avaldatud
Allikas
TED

Rohkem hankeinfot sisselogimisel

Avalik vaade näitab hanke põhiandmeid. Logi sisse, et avada ametlikud lingid, dokumendid ja AI hankeabi.