Hanke detail
Servas käsitsetav pihustuskeskkonna seade
Kokkuvõte
Hange puudutab servas käsitsetava pihustuskeskkonna seadme tarnet VTT Micronova puhasruumi pooljuhtide esiossa. Tegemist on 200 mm vahvlitele mõeldud pihustuskeskkonna seadmega, millel on vahvli serva käsitsemise võimekus; seadmel peab olema ka sadestuskamber nelja magnetronpihustusallikaga. Täpsed tehnilised nõuded on kirjas hankedokumentides.
Rohkem hankeinfot sisselogimisel
Avalik vaade näitab hanke põhiandmeid. Logi sisse, et avada ametlikud lingid, dokumendid ja AI hankeabi.